1、操控:全新研發(fā)生產(chǎn)的高頻超聲波清洗系列,采用7寸觸摸屏控制,可設(shè)置9組用戶程序,操作簡(jiǎn)便,零工作噪音,實(shí)現(xiàn)靜態(tài)超聲。
2、原理:高頻超聲能使被清洗件表面附近形成速度梯度很大且極薄的聲學(xué)邊界層,其雜質(zhì)粒子受到液體兆赫頻的震蕩作用從器件表面脫落,能夠清洗掉元器件表面微米、亞微米級(jí)的雜質(zhì)顆粒,實(shí)現(xiàn)超精密清洗過(guò)程。
3、頻率優(yōu)勢(shì):頻率涵蓋了0.5MHz、1.0MHz和1.7MHz三種頻率,高頻超聲波清洗過(guò)程由于極低的空化效應(yīng),對(duì)被清洗件表面不會(huì)產(chǎn)生損傷,能夠有效解決精密元器件清洗后造成的腐蝕或損傷破壞等現(xiàn)象。
4、應(yīng)用方向:被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,并且其除了有清洗作用外,還可以在化學(xué)機(jī)械拋光、顯影、除膠、金屬剝離、刻蝕等關(guān)鍵工藝中起到重要作用。